服務內(nèi)容:
三維表面形貌分析: 精確重建樣品表面的三維形貌圖像,直觀展現(xiàn)表面的起伏、紋理與結構特征。
粗糙度與輪廓參數(shù)測量: 提供符合ISO標準的Ra、Rq、Rz等多種粗糙度參數(shù),以及臺階高度、平面度、體積等關鍵尺寸的精準測量。
薄膜厚度與膜基形貌分析: 對透明薄膜的厚度進行測量,并分析膜層的表面平整度與覆蓋情況。
微觀形變與磨損分析: 對比處理前后的表面形貌變化,用于分析材料的磨損、腐蝕、劃痕等性能。
技術優(yōu)勢:
非接觸無損檢測: 光學測量方式,完全避免對柔軟、易損傷樣品表面的觸碰和破壞。
高精度與高效率: 納米級的縱向分辨率,結合高速掃描,可快速獲取大面積三維數(shù)據(jù),提升檢測效率。
跨尺度測量能力: 兼顧高分辨率與大視野,既能分析微觀粗糙度,也能測量宏觀的平面度和輪廓度。
強大的分析軟件: 提供豐富的數(shù)據(jù)分析工具,可輕松獲取數(shù)十種表面參數(shù),并生成直觀的二維、三維圖表。
典型應用客戶:
半導體與MEMS: 晶圓表面粗糙度、CMP工藝后平整度、光刻膠形貌、微結構尺寸測量。
精密加工與制造: 刀具、軸承、模具的表面粗糙度與磨損情況檢測。
光學與鍍膜行業(yè): 光學元件表面質(zhì)量、薄膜平整度檢驗。
材料科學研發(fā): 涂層表面形貌、復合材料界面分析、材料摩擦學性能研究。
生物與醫(yī)療器件: 人工植入體表面粗糙度、微流道芯片的輪廓測量。
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